超纯水是什么(超纯水的特点与主要用途)
超纯水是水的纯度巅峰,它去除了水中几乎所有杂质,包括离子、有机物、颗粒物、微生物、溶解气体(甚至硅)等,达到理论纯水的极限,它是电子级或分析级的顶级用水。
1.处理工艺
在纯水(或深度除盐水)的基础上,进行极其严苛的终端精处理:
多级混床/抛光混床:去除残留的痕量离子。
超滤(UF)/膜过滤:去除纳米级颗粒物、微生物、热原。
紫外线氧化(UV 185nm+254nm):彻底杀灭微生物并氧化降解痕量有机物(降低TOC)。
脱气膜/真空脱气:去除溶解氧、二氧化碳等气体。
终端精密过滤器:0.04或0.1微米过滤,确保颗粒物达标。
系统全程采用高纯惰性材料(PVDF、PVP等),避免二次污染。
2.主要特点
电导率极低:接近理论纯水的极限值(18.2 MΩ·cm @25°C),电阻率>18MΩ·cm。
TDS趋近于零。
颗粒物数量(>0.1μm)严格控制在个位数/毫升。
TOC含量极低:通常在ppb(μg/L)级别甚至更低。
微生物/细菌内毒素含量极低或检测不出。
溶解气体(如O₂, CO₂)含量极低。
水质极其“脆弱”,暴露在空气中会迅速吸收CO₂和微粒导致纯度下降,必须即产即用。
3.主要用途
集成电路(芯片)制造、半导体硅片清洗、光刻工艺、液晶显示面板制造、超纯材料制备、痕量元素分析(ICP-MS)、生命科学尖端研究(细胞培养、分子生物学)等对水质要求近乎苛刻的高科技领域。
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